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光譜共焦測厚儀,中文應用范圍:3C、半導體、汽車、新能源等領域。
1. 適應性強;
2. 精度高;
3. 穩定性強;
4. 感光度高。
| 測量頭 | ||
| 序號 | 項目 | 參數 |
| 1 | 型號 | CDS-2001.5 |
| 2 | 工作距離 | 20mm |
| 3 | 測量范圍 | ±0.75mm |
| 4 | 線性度 | ±0.6μm(校準后滿量程測量時誤差值) |
| 5 | 分辨率 | 0.05μm(測量中心零點平均10噪聲大小程度) |
| 6 | 光斑大小 | 35μm(量程中心位置理論光斑直徑) |
| 7 | 重復精度 | 0.6μm(重復取放樣品50次) |
| 8 | 尺寸 | Φ20*69mm |
| 控制器 | ||
| 序號 | 項目 | 參數 |
| 1 | 型號 | CDS-5508 |
| 2 | PC接口 | USB |
| 3 | 通訊接口 | 串口 |
| 4 | 額定電壓 | DC24V |
| 5 | 額定電流 | 1A |
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